■ 硅、碳化物、陶瓷、玻璃、鍺、砷化鎵和其他脆性材料的研磨

■ Si/Cu、樹(shù)脂的研磨

■ GNX200B

■ GNX200BH（可用于SiC材料的研磨）

■ GNX 300B（最大可對(duì)應(yīng)12英寸晶圓）

■ VG401MKII（可用于陶瓷吸盤的研磨）

擁有自己的鑄造工廠，作為核心部件的主軸及其他關(guān)鍵零部件全部自供，保證了材料的質(zhì)量穩(wěn)定性

■ 擁有百年歷史的岡本公司為磨床專業(yè)制造商，在其核心部品---主軸上具有獨(dú)特的技術(shù)&實(shí)力。

-岡本是世界主要精密磨床核心部品---<主軸>供應(yīng)商，供應(yīng)全球知名精密磨床廠家。

-AL2O3,ALN等硬度羅高的材質(zhì)，對(duì)于主軸等核心部件的剛性要求極高。

■ 岡本也是靜電卡盤產(chǎn)品專業(yè)的設(shè)備供應(yīng)商。

-在超純AL2O3,ALN等材質(zhì)，特別是大尺寸超平滑研磨工藝上被廣泛使用。

特殊工藝設(shè)計(jì)的不可替代性

■ 岡本的研磨主軸帶角度調(diào)節(jié)功能。

-可針對(duì)高精密大尺寸等特殊工件局部部位有針對(duì)性研磨。

-靈活應(yīng)對(duì)<異形-中凸\中凹>等工件。

-研磨精度更高&更穩(wěn)定&更靈活。 

■ 磨削負(fù)荷波動(dòng)很小。                                                  

■ 配備在線量?jī)x，時(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)工件厚度（雙探針型）。                                                          

■ 破碎層和外周崩邊達(dá)到極小。

■ 其他廠商多為<工作臺(tái)角度調(diào)節(jié)>

運(yùn)營(yíng)成本優(yōu)勢(shì)明顯

-良品率高。

-主軸等核心部件穩(wěn)定性高&使用壽命長(zhǎng)。

-砂輪磨損量小，使用效率更高：磨料|粒徑|結(jié)合劑三大核心技術(shù)+全球使用業(yè)績(jī)。

■ 砂輪主軸采用高剛性空氣軸承和大功率研磨主軸，研磨剛性更大。

■ 磨削精度高，穩(wěn)定性好。

■ 高剛性支撐。

-支撐磨削主軸的機(jī)械單元由高剛性鐵鑄件制成。該機(jī)構(gòu)可承受重型磨削時(shí)的機(jī)械沖擊。

-主軸垂直導(dǎo)軌高剛性直線滾子導(dǎo)軌-接觸面積更大、承載負(fù)荷大、靈敏度高。

 采用雙研磨軸，旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，機(jī)器人上下料，大大提高了生產(chǎn)效率。

工作臺(tái)采用高剛性空氣軸承，通過(guò)交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)和蝸桿變速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作。

配備高壓噴射裝置的研磨例：

■ 硅/銅研磨

■ 樹(shù)脂研磨

主軸轉(zhuǎn)速：最大1800min-(120Hz)

主軸軸承：空氣軸承

主軸快速度進(jìn)給：180mm/min

主軸磨削速度：最大999um/min

工作臺(tái)直徑：400mmΦ

工作臺(tái)軸承：空氣軸承

真 空 卡 盤：陶瓷卡盤

卡具：真空

工作臺(tái)轉(zhuǎn)速：1-200min－1

工作臺(tái)電機(jī)：交流伺服電機(jī)3.0kW