為半導(dǎo)體封裝和線路板組裝等電子領(lǐng)域的高分辨率檢測要求而設(shè)計的 X 射線檢測系統(tǒng)
■ Microme/X
■ Microme/X DXR-HD
■ Nanome/X
■ Ndt/Analyser
■ Pcba/Inspectc
■ X/Argos
■ Phoenix x/am
■ Nanotom m
■ Nanotom s
■ V/Tome/x L 240
■ V/Tome/x L 300
■ V/Tome/x L 450
■ V/Tome/x s
■ V/Tome/x n
■ 自主冷卻和溫度穩(wěn)定控制的數(shù)字 DXR 平板探測器具有高動態(tài)響應(yīng)進(jìn)行實時成像
■ 細(xì)節(jié)分辨率可達(dá)0.5微米或0.2微米的180 kV /20 W 高功率亞微米/納米 X 射線管
■ 具有 CAD 文件導(dǎo)入的 x|act 軟件可編程和自動檢測
■ 采用金剛石靶材,在同等質(zhì)量影像條件下數(shù)據(jù)截取的速度可快2倍
■ 可選三維 CT 掃描功能,實現(xiàn)10秒的快速掃描
■ 幾何放大倍率2000倍
■ 總放大倍率7000倍
■ 細(xì)節(jié)分辨能力
小于1 μm